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为什么使用氦气作为示踪气体氦质谱检漏法用氦气作为示踪气体,有下面几个主要原因:
氦气在环境空气中含量极少(5ppm),环境本底比较低。
氦气分子很小,并且扩散很快,可以缩短检测器响应泄漏的时间。
氦气容易获取,、不易燃并且属于惰性气体。
氦质谱检漏的基本方法-喷氦法
使用氦质谱检漏仪进行检漏有喷氦法(也叫真空法)、吸枪法等多种方式,对真空设备进行检漏常用的是喷氦法。
启动检漏仪并把它与被测工件相连,检漏仪对被测工件内部抽真空,此时对待检真空设备外部各位置进行喷氦,当喷氦的位置有泄漏时,氦气就会从漏点进入被测工件从而被检漏仪检测到。